发明名称 Photomusterbare Mehrschichtstruktur.
摘要
申请公布号 DE3889448(D1) 申请公布日期 1994.06.09
申请号 DE19883889448 申请日期 1988.01.19
申请人 THE FOXBORO CO., FOXBORO, MASS. 发明人 GRANDMONT, PAUL, E., CUMBERLAND, RHODE ISLAND 02864;LAKE, HAROLD, SHARON, MA 02067
分类号 G03F7/004;G03F7/095;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/10;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/095;G03C1/76 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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