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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Feldeffekttransistors mit Übergangsgatter.
摘要
申请公布号
DE3886871(T2)
申请公布日期
1994.06.09
申请号
DE19883886871T
申请日期
1988.10.07
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA
发明人
INOUE, KAZUHIKO C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105
分类号
H01L21/28;H01L21/337;H01L29/10;H01L29/417;H01L29/808;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/80
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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