| 摘要 |
<p>L'invention se rapporte à un procédé pour produire des structures de films minces intermétalliques orientées, ayant des propriétés uniaxiales magnétiques, électroniques, optiques et mécaniques. A cet effet, on assemble des surstructures en treillis artificielles (10) en déposant par vaporisation des couches alternées des métaux constitutifs du composé intermétallique cible sur un substrat aligné (16). On peut utiliser soit des substrats monocristallins soit des substrats à texture cristallographique pour induire l'alignement des couches déposées (10, 12) dans le procédé décrit ici. Le recuit de la surstructure en treillis qui en résulte (10) génère des composés intermétalliques en films minces alignés (38) dans les métaux constitutifs aux interfaces (44) de la surstructure en treillis (10), ces composés intermétalliques en films minces ayant des propriétés uniaxiales prononcées.</p> |
