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发明名称 FOTORESIST-ZUSAMMENSETZUNG.
摘要
申请公布号 DE68915148(D1) 申请公布日期 1994.06.09
申请号 DE1989615148 申请日期 1989.02.17
申请人 TOSOH CORP., SHINNANYO, YAMAGUCHI 发明人 YAMAMOTO, TAKASHI, KANAGAWA-KEN 243-04;TODOKO, MASAAKI, KANAGAWA-KEN 252;SEITA, TORU, KANAGAWA-KEN 243;NAGAOKA, KYOKO, KANAGAWA-KEN 243;MATSUMURA, KOSABURO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN 227
分类号 G03F7/012;G03F7/023;(IPC1-7):G03F7/012 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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