发明名称 Vorrichtung zur Herstellung von dünnen Filmen.
摘要
申请公布号 DE3889446(D1) 申请公布日期 1994.06.09
申请号 DE19883889446 申请日期 1988.02.29
申请人 NIPPON KOKAN K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 OHMURA, MASANORI PATENT & LICENCE & QUALITY, MARUNOUCHI CHIYODA-KU TOKYO;SAKAMA, HIROSHI PATENT & LICENCE & QUALITY, MARUNOUCHI CHIYODA-KU TOKYO;ARAKI, KENJI PATENT & LICENCE & QUALITY, MARUNOUCHI CHIYODA-KU TOKYO;KAMIO, HIROSHI PATENT & LICENCE & QUALITY, MARUNOUCHI CHIYODA-KU TOKYO;SHIMA, YOSHINOBU PATENT & LICENCE & QUALIT, MARUNOUCHI CHIYODA-KU TOKYO
分类号 C23C16/44;C30B25/12;(IPC1-7):C30B25/12 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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