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发明名称 Apparatus and method for cleaning solid surface.
摘要
申请公布号 EP0445728(B1) 申请公布日期 1994.06.08
申请号 EP19910103304 申请日期 1991.03.05
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 WATANABE, MASAHIRO;OTAKE, MITSUYOSHI;HAMANO, MEGUMI HACHIMANYAMA APATO 126;TAKIZAWA, YOSHIHARU
分类号 B08B3/10;B08B3/06;B08B7/02;B24B31/00;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B24B31/00 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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