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发明名称 Method of producing microstructures
摘要
申请公布号 AU5659994(A) 申请公布日期 1994.06.08
申请号 AU19940056599 申请日期 1993.11.16
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 发明人 EMILE WILLEBRORDUS JACOBUS MARI VAN DER DRIFT;JOHAN CHRISTOPH VAN DE GRAMPEL;ROBERT PUYENBROEK;BERNARD ANDRE CORNEILLE ROUSSEEUW
分类号 C08F290/14;G03F7/075;H01L21/033;H01L21/308 主分类号 C08F290/14
代理机构 代理人
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