SPUTTERING DEVICE AND METHOD THEREFOR,申请号JP19920312419-传众专利搜索

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发明名称	SPUTTERING DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH06158302(A)	申请公布日期	1994.06.07
申请号	JP19920312419	申请日期	1992.11.20
申请人	FUJITSU LTD	发明人	HARADA KAZUYUKI
分类号	C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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