发明名称 MEASUREMENT OF NATURAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH06160028(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920336611 申请日期 1992.11.24
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 SAKURAI MARI;SHINGYOUCHI TAKAYUKI
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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