发明名称 POSITIONAL SHIFT MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06160019(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920328675 申请日期 1992.11.14
申请人 CANON INC 发明人 NOSE TETSUSHI;CHITOKU KOICHI;MATSUMOTO TAKAHIRO;SAITO KENJI
分类号 G01B9/02;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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