| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR VAPOR DEPOSITION OF OXIDIZED METAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06158312(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
| 申请号 |
JP19930222493 |
申请日期 |
1993.09.07 |
| 申请人 |
BOC GROUP INC:THE |
发明人 |
EIBURAHAMU AI BERUKINDO;RENAADO WAMUBORUDO;JIESHII DEII UORUFU |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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