| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR EVALUATING CHARACTERISTIC OF ETCHING LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06160320(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
| 申请号 |
JP19920328935 |
申请日期 |
1992.11.16 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
TSUKAHARA RYOICHI;SAKO TAKEFUMI |
| 分类号 |
C23F1/46;G01N27/06;H01L21/306;H05K3/06;(IPC1-7):G01N27/06 |
主分类号 |
C23F1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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