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发明名称 ELECTRODE FORMING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06158288(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920316727 申请日期 1992.11.26
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 KITAJIMA KATSUHARU
分类号 C23C14/30;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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