发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR MEASURING NO RADICAL
摘要
申请公布号 JPH06160282(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19910359892 申请日期 1991.12.27
申请人 HIROBE MASAAKI;JASCO CORP 发明人 NAGANO TETSUO;KIKUCHI KAZUYA;HIROBE MASAAKI;HAYAKAWA HIROSHI;HIRATA YASUNOBU;SUGIMOTO TSUNEAKI;HIGASHIDATE SAKAE
分类号 G01N21/76;(IPC1-7):G01N21/76 主分类号 G01N21/76
代理机构 代理人
主权项
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