发明名称 |
FAN FILTER DEVICE FOR CLEAN ROOM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06159752(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
申请号 |
JP19920341670 |
申请日期 |
1992.11.27 |
申请人 |
SHINKO KOGYO CO LTD |
发明人 |
NABESHIMA YASUSHI;ISHITOBI KOJI |
分类号 |
B01D46/52;E04H5/02;F24F7/06;(IPC1-7):F24F7/06 |
主分类号 |
B01D46/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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