| 发明名称 |
VAPOR-DEPOSITED FILM AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06158271(A) |
申请公布日期 |
1994.06.07 |
| 申请号 |
JP19920308760 |
申请日期 |
1992.11.18 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
HATADA KENJI;TANAKA NORIO |
| 分类号 |
C23C14/04;H01G4/015;H01G4/18;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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