| 发明名称 |
GRAPHITE CHUCK FOR STARTING FILAMENT IN PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE SILICON AND METHOD OF PROTECTING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06157195(A) |
申请公布日期 |
1994.06.03 |
| 申请号 |
JP19900418179 |
申请日期 |
1990.12.25 |
| 申请人 |
UNION CARBIDE KOOTEINGUSU SERVICE TECHNOL CORP |
发明人 |
MAIKERU HENRII GIRUBAATO;JIYON BURAISU HETSUJI;POORU JIYUUDO UORUSHIYU |
| 分类号 |
C30B29/06;C01B33/035;C04B41/50;C30B13/00;C30B15/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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