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发明名称
STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
JPH06160217(A)
申请公布日期
1994.06.07
申请号
JP19920316786
申请日期
1992.11.26
申请人
HITACHI LTD;HITACHI AUTOMOT ENG CO LTD
发明人
YAMAGUCHI SHINICHI;NAKAZAWA TERUMI;SUZUKI TOSHIYUKI;TAKAHASHI HIROBUMI;MATSUMOTO KAZUYOSHI
分类号
G01L9/04;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/04
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
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