发明名称 STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH06160217(A) 申请公布日期 1994.06.07
申请号 JP19920316786 申请日期 1992.11.26
申请人 HITACHI LTD;HITACHI AUTOMOT ENG CO LTD 发明人 YAMAGUCHI SHINICHI;NAKAZAWA TERUMI;SUZUKI TOSHIYUKI;TAKAHASHI HIROBUMI;MATSUMOTO KAZUYOSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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