发明名称 SINGLE CRYSTAL GROWTH FURNACE AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06157187(A) 申请公布日期 1994.06.03
申请号 JP19920313270 申请日期 1992.11.24
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 KURASHIGE KAZUHISA;KURATA YASUSHI;ISHIBASHI HIROYUKI
分类号 C30B15/14;C30B29/34;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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