发明名称 |
SINGLE CRYSTAL GROWTH FURNACE AND PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06157187(A) |
申请公布日期 |
1994.06.03 |
申请号 |
JP19920313270 |
申请日期 |
1992.11.24 |
申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
KURASHIGE KAZUHISA;KURATA YASUSHI;ISHIBASHI HIROYUKI |
分类号 |
C30B15/14;C30B29/34;(IPC1-7):C30B15/14 |
主分类号 |
C30B15/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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