发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06157191(A) 申请公布日期 1994.06.03
申请号 JP19920328484 申请日期 1992.11.13
申请人 DOWA MINING CO LTD 发明人 AKASE SHINICHIRO;TAZAKI YUZO;SAKAMOTO RYO
分类号 C07F3/00;C07F3/04;C30B25/02;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C07F3/00
代理机构 代理人
主权项
地址