| 发明名称 |
MAGNETIC LEVITATION CONVEYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06156733(A) |
申请公布日期 |
1994.06.03 |
| 申请号 |
JP19920336570 |
申请日期 |
1992.11.24 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
EGUCHI MASATO;MORI SATOSHI |
| 分类号 |
B60L13/06;B65G49/00;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G54/02 |
主分类号 |
B60L13/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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