电荷转送装置及其驱动方法及固体摄影装置

摘要

本发明之电荷转送装置，其主要特征包括：半导体基板及；被形成在上述半导体基体，且备有将在该半导体基体所产生之信号电荷加以转送之多数的转送电极而被并列配置之多个电荷转送部及；被形成在上述在半导体基板上被并列配置之多个电荷转送部之间，而将位于该多个电荷转送部中之一定电荷转送部的一定转送电极下方的信号电荷，根据一定之驱动脉冲而移送到与其邻接之下一个电荷转送部之一定转送电极下方的多个转送闸及；将被移送到上述下一个电荷转送部之上述信号电荷之残留在上述一定电荷转送部的残留电荷，藉经由其他之转送闸自上述一定之电荷转送部移送到上述下一个电荷转送部，而令上述残留电荷与上述一定之信号电荷产生合流之装置；又本发明之电荷转送装置之驱动方法，其主要特征包括：可经由一定之转送闸将一定之信号电荷自一定之电荷转送部移送到下一个电荷转送部之装置及；将被移送到上述下一个电荷转送部之上述一定之信号电荷转送到上述下一个电荷转送部之多个转送电极下方的装置及；将残留在上述一定之电荷转送部之上述一定之信号电荷的残留电荷转送到上述一定之电荷转送部之多个转送电极下方的装置及；令被转送到上述一定之电荷转送部之上述多个转送电极下方的上述残留电荷经由其他之转送闸自上述一定之电荷转送部移送到上述下一个电荷转送部，而可令上述残留电荷与上述一定之信号电荷产生合流之装置。又本发明之固体摄影装置系在备有像素部之固体摄影装置设有上述之电荷转送装置者。

主权项

图示简单说明: 图I系本发明之第1实施例之电荷转 送装置的扩大平面图。 图2系被形成在半导体基板上之图l 之电荷转送装置的平面图。 图3系表图2之A一A'部分的断面 图以及该部分之电位分布图。 图4系表图2之B一B' 图以及该部分之电位分布图。 图5系表第1实施例之点动时序图。 图6系表将第1实施例之电荷转送装 置之电极构造子以扩大表示之扩大平面图 部分的断面 图7系表图6之C一C' 部分的断面 图以及该部分之电位分布图。 图8系表第2实施例之电荷转送装置 的扩大平面图。 图9系表第2实施例之驱动时序图。 图10系表第2实施例之电荷转送说明 图。 图11系表第2实施例之电荷转送说明 图。 圆12系表第3实施例之电荷转送装置 的扩大平面图。 图13系表图12之E-E' 图以及该部分之电位分布图。 图14系表第3实施例之驱动时序图。 图15系表第4实施例之电荷转送装置 的扩大平面图。 图16系表第4实施例之驱动时序图。 图17系表图15之F-F'部分的断面 图以及其电位分布图。 图18系表第5实施例之电荷转送装置 的扩大平面图。 图19凹系表图18之C-G' 图以及其电位分布图。 图20系表第5实施例之驱动时序图。 图21系表第6实施例之电荷转送装置 之平面图。 图22系表第7实施例之区域感测器 (areas ensor)的平面图。 图23系图22之扩大平面图。 图24系图23之H一H'部分的断面图 以及其电位分布图。 图25系表第7实施例之驱动时序图。 图26系表习知电荷转送装置的平面图 部分的断面 部分的断面 图27系表图26之A一A'部分的断面 图以及其电位分布图。 图28系表图26之B一B'部分的断面 图以及其电位分布图。 图29系表图26之扩大平面图。