发明名称 Sputterverfahren zur Erzeugung einer Dünnschicht.
摘要
申请公布号 DE68913077(T2) 申请公布日期 1994.06.01
申请号 DE19896013077T 申请日期 1989.05.13
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA 发明人 INOUE, MINORU, TAKATSU-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA, 213
分类号 H01L21/3205;C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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