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发明名称 INTEGRATED DELIVERY SYSTEM FOR CHEMICAL VAPOR FROM NON-GASEOUS SOURCES FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0587724(A4) 申请公布日期 1994.06.01
申请号 EP19920912604 申请日期 1992.05.29
申请人 STAUFFER, CRAIG, M. 发明人 STAUFFER, CRAIG, M.
分类号 B01J4/00;B01J4/02;B01J7/00;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;F17C7/02;F17C7/04;F17C13/04;G03F7/38;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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