发明名称 Dihalogen-dimethyl-monoazido-mononitro-benzole, Photoresistzusammensetzungen auf deren Basis, Verfahren zu ihrer Herstellung sowie ihre Verwendung
摘要
申请公布号 DE4240193(A1) 申请公布日期 1994.06.01
申请号 DE19924240193 申请日期 1992.11.30
申请人 NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORP., NEU DELHI/NEW DELHI 发明人 EASWARAN, SAMBASIVAN VENKAT, NEW DELHI
分类号 C07C247/16;C09D161/10;G03F7/008;(IPC1-7):C07C247/16;A01N33/26;G03F7/012 主分类号 C07C247/16
代理机构 代理人
主权项
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