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摘要
申请公布号
JPH0642363(B2)
申请公布日期
1994.06.01
申请号
JP19880065879
申请日期
1988.03.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUTAISHI SHUNICHI;TERASAKI NOBUO;NAKANO MASAAKI;IWATA SHUJI
分类号
H01J31/15;H01J63/06;(IPC1-7):H01J63/06
主分类号
H01J31/15
代理机构
代理人
主权项
地址
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