Positive-working photoresist composition.,申请号EP19900103909-传众专利搜索

发明名称	Positive-working photoresist composition.
摘要
申请公布号	EP0385442(B1)	申请公布日期	1994.06.01
申请号	EP19900103909	申请日期	1990.02.28
申请人	FUJI PHOTO FILM CO., LTD.	发明人	KAWABE, YASUMASA;KOKUBO, TADAYOSHI
分类号	G03F7/004;G03F7/022;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/039	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
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