Integriertes Bearbeitungssystem mit Vielfachkammer.,申请号DE19873789212T-传众专利搜索

发明名称	Integriertes Bearbeitungssystem mit Vielfachkammer.
摘要
申请公布号	DE3789212(T2)	申请公布日期	1994.06.01
申请号	DE19873789212T	申请日期	1987.12.18
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF.	发明人	MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS CALIFORNIA 94022;SOMEKH, SASSON, REDWOOD CITY CALIFORNIA 94065;WANG, DAVID NIN-KOU, CUPERTINO CALIFORNIA 95014;CHENG, DAVID, SAN JOSE CALIFORNIA 95128;TOSHIMA, MASATO, CAMPBELL CALIFORNIA 95008;HARARI, ISAAC, MOUNTAIN VIEW CALIFORNIA 94043;HOPPE, PETER D., SUNNYVALE CALIFORNIA 94086
分类号	H01L21/677;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
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