发明名称 A METHOD FOR PURIFYING GAS DISTRIBUTION SYSTEMS.
摘要
申请公布号 EP0641241(A4) 申请公布日期 1994.06.01
申请号 EP19920917799 申请日期 1992.08.05
申请人 BALMA, FRANK R.;ELLIOT, BRENT D. 发明人 BALMA, FRANK R.;ELLIOT, BRENT D.
分类号 B01D46/42;F24H3/04;(IPC1-7):B01D46/10;H01L21/00 主分类号 B01D46/42
代理机构 代理人
主权项
地址