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发明名称 POST-TREATMENT METHOD OF DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06151390(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920328578 申请日期 1992.11.13
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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