发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06151456(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920303359 申请日期 1992.11.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ASAI AKIRA;HASHIMOTO SHIN;FUKUMOTO MASANORI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784;H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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