发明名称 |
SEMICONDUCTOR TRANSFER JIG |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06151555(A) |
申请公布日期 |
1994.05.31 |
申请号 |
JP19920302261 |
申请日期 |
1992.11.12 |
申请人 |
MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD;AKITA RIKEN:KK |
发明人 |
SHIMAMURA KAZUO;INABA TOSHIKAZU;AOKI TAKAHIRO;KUBO ISAO |
分类号 |
B23Q7/10;B65G49/07;H01L21/22;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q7/10 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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