发明名称 SEMICONDUCTOR TRANSFER JIG
摘要
申请公布号 JPH06151555(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920302261 申请日期 1992.11.12
申请人 MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD;AKITA RIKEN:KK 发明人 SHIMAMURA KAZUO;INABA TOSHIKAZU;AOKI TAKAHIRO;KUBO ISAO
分类号 B23Q7/10;B65G49/07;H01L21/22;H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q7/10
代理机构 代理人
主权项
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