发明名称 AUTOMATIC CLEAN OPERATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06151268(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920295552 申请日期 1992.11.05
申请人 SHIN MEIWA IND CO LTD 发明人 YASUO TAKESHI;KATO TAKASHI
分类号 B65G49/00;F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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