发明名称 |
AUTOMATIC CLEAN OPERATION DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06151268(A) |
申请公布日期 |
1994.05.31 |
申请号 |
JP19920295552 |
申请日期 |
1992.11.05 |
申请人 |
SHIN MEIWA IND CO LTD |
发明人 |
YASUO TAKESHI;KATO TAKASHI |
分类号 |
B65G49/00;F24F7/06;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
B65G49/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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