发明名称 MANUFACTURE OF BI-MOS
摘要
申请公布号 JPH06151725(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920292588 申请日期 1992.10.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KURODA SHUNICHI;KIMURA TATSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/06;H01L29/784 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址