发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06151603(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920323578 申请日期 1992.11.09
申请人 RICOH CO LTD 发明人 TANIGAWA TETSUO
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址