发明名称 DRYING JIG AND DRYING DEVICE FOR SUBSTRATE FOR DISK MEDIUM AND ITS DRYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06150313(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920302739 申请日期 1992.11.13
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIMIZU TAKAHIRO;TANAKA SHIGEO;ISHIZAWA YOSHIAKI
分类号 G11B5/84;G11B7/26;(IPC1-7):G11B5/84 主分类号 G11B5/84
代理机构 代理人
主权项
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