| 发明名称 |
METHOD FOR ETCHING METAL/ITO MULTILAYER FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06151380(A) |
申请公布日期 |
1994.05.31 |
| 申请号 |
JP19920298401 |
申请日期 |
1992.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHATA MASARU;WAKUI TAKAYUKI;MIMURA AKIO;KONISHI NOBUTAKE;ORITSUKI RYOJI |
| 分类号 |
G02F1/1343;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/40;(IPC1-7):H01L21/302;G02F1/134 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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