| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06151887(A) |
申请公布日期 |
1994.05.31 |
| 申请号 |
JP19920294245 |
申请日期 |
1992.11.02 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
NISHIMURA HITOSHI;TAKIZAWA ISAO |
| 分类号 |
G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01P15/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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