| 发明名称 |
THIN FILM MANUFACTURING EQUIPMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06151321(A) |
申请公布日期 |
1994.05.31 |
| 申请号 |
JP19920295825 |
申请日期 |
1992.11.05 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ZEN MUNETOSHI;MIURA HIDEO;HOSHINO MASAKAZU;TSUZUKI KOICHI |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
