发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06151834(A) 申请公布日期 1994.05.31
申请号 JP19920328700 申请日期 1992.11.13
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SATO YASUO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/62 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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