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发明名称
Optical thickness profiler and method for its use
摘要
申请公布号
IL101159(A)
申请公布日期
1994.05.30
申请号
IL19920101159
申请日期
1992.03.05
申请人
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人
分类号
G01B11/00;G01B9/02;G01D5/26;(IPC1-7):G02B27/10
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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