| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF DIELECTRIC SUBSTANCE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06145992(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920294797 |
申请日期 |
1992.11.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIKI HIROSHI;OJI YUZURU;TAJI SHINICHI |
| 分类号 |
C23C16/52;H01L21/31;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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