| 发明名称 |
METHOD OF SPATTERING CARBON FILM AND ITS PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06145975(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19930077740 |
申请日期 |
1993.03.10 |
| 申请人 |
KOMATSUGU INC |
发明人 |
TSUTOMU YAMASHITA;KIYOUHENGU RII;RAJIBU WAI RANJIYAN;YURI TORACHITSUKU |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;G11B5/72;G11B5/84;H01F41/18;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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