| 发明名称 |
VISUAL INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06147848(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920294056 |
申请日期 |
1992.11.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
AMAMIYA KOICHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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