SPUTTERING DEVICE AND ITS POWER SOURCE,申请号JP19920292947-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SPUTTERING DEVICE AND ITS POWER SOURCE
摘要
申请公布号	JPH06145970(A)	申请公布日期	1994.05.27
申请号	JP19920292947	申请日期	1992.10.30
申请人	SHIMADZU CORP	发明人	ITOI HIROTO
分类号	C23C14/34;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
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