| 发明名称 |
DISPLACEMENT MEASURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06147858(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920327253 |
申请日期 |
1992.11.12 |
| 申请人 |
TEKUSERU:KK |
发明人 |
ONO HIROBUMI;OGATA YOSHIMI;UJITA JUNICHI;NARUI FUMIO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01C3/06;H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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