| 发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE AND CONTROL METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06147883(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920299412 |
申请日期 |
1992.11.10 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMAZAKI KENJI;NAKAJIMA BAN |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q60/10;H01J37/28;H01L41/09;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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