| 发明名称 |
PRODUCTION OF POLYCRYSTALLINE THIN FILM AND PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06145977(A) |
申请公布日期 |
1994.05.27 |
| 申请号 |
JP19920293464 |
申请日期 |
1992.10.30 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
IIJIMA YASUHIRO;TANABE NOBUO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/46;C23C14/54;C30B28/12;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/46 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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