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发明名称 MEMORY TESTER
摘要
申请公布号 JPH06148283(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19920294059 申请日期 1992.11.02
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 YOSHIDA MASAHIRO;KITAME TETSUYA
分类号 G01R31/3183;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
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