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发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06145963(A) 申请公布日期 1994.05.27
申请号 JP19910046483 申请日期 1991.03.12
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ODA MINORU;NANNO SHIGETERU
分类号 C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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